Facultatea de Fizică
Universitatea "Al.I.Cuza" Iaşi
|
| Titlu: Diagnoza optică şi electrică a arcului termoionic în vid |
| Autori: C. Aniculaesei, A. Nastuta, V. Tiron, G. Popa |
| Afiliere: Universitatea “Al.I.Cuza”, Facultatea de Fizică, , Iaşi, Romania |
| Abstract: În funcţie de cerinţele tehnologice şi economice ale
societăţii, s-au dezvoltat de-a lungul timpului diferite tehnologii de depunere a straturilor subţiri. Printre acestea un rol tot mai important, cu aplicaţii în domenii tot mai diverse, îl ocupă arcul termoionic in vid. Arcul termoionic in vid este o descărcare electrică aprinsă în vaporii metalici ai unui anod, vapori obţinuţi prin bombardarea materialului anodic cu un fascicul energetic de termoelectroni [1-2]. Principalul avantaj al acestei metode este controlul uşor al energiei ionilor proveniţi din atomii materialului ce urmează a fi depus şi faptul că în timpul depunerii stratul subţire este continuu bombardat cu ioni energetici fără a fi nevoie să polarizăm substratul [3]. Un alt mare avantaj constă în prezenţa unei densităţi mari de energie în preajma
anodului ceea ce asigură o rată mare de depunere şi face ca această metodă să fie foarte utilă în depunerea de materiale refractare sau ceramici [4-5]. Aceste avantaje corelate cu faptul că descărcarea are loc în condiţii de vid înalt face ca stratul depus să fie caracterizat prin înaltă puritate şi duritate, aderenta bună, rugozitate mică şi grad mare de compactitate [6]. |
Download link:
|
|
|
