Facultatea de Fizică
Universitatea "Al.I.Cuza" Iaşi
|
| Titlu: Diagnoza plasmei descărcării magnetron în regim tranzitoriu |
| Autori: M. Solomon, C. Viţelaru, V.Tiron, F. Tufescu, G. Popa |
| Afiliere: Universitatea „Al. I. Cuza“, Facultatea de Fizică, 700506 Iaşi |
| Abstract: În aceasta lucrare sunt prezentate rezultatele experimentale obţinute în urma studiului fenomenelor tranzitorii prezente la o descărcare magnetron, realizată în amestec de gaz nobil şi gaz reactiv Ar/ N2, cu ţinta de titan. Domeniul de presiune utilizat a fost cuprins între 3mTorr şi 15 mTorr. Fenomenele tranzitorii au fost evidenţiate utilizând regimul pulsat în curent al descărcării magnetron. Pulsurile dreptunghiulare de curent folosite au avut amplitudini diferite. Pentru diagnoza plasmei în acest regim al descărcării magnetron s-au folosit metode electrice de diagnoză, sonde Langmuir şi metode spectrale studiindu-se evoluţia în timp a următoarelor linii spectrele Ar+(420,06nm) şi Ti+(503,96nm). |
Download link:
|
|
|
